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超聲振動(dòng)磨削原理、優勢、分類(lèi)和發(fā)展趨勢
超聲振動(dòng)磨削的材料去除機制和表面形成機制
典型航空工業(yè)難加工材料超聲振動(dòng)輔助加工現狀
超聲加工降低切削力、改善粗糙度、降低刀具磨損
碳化矽晶圓功率密度高、耐壓高、導熱系數高，是功率半導體首選材料，在新能源領(lǐng)域應用越來(lái)越廣泛。碳化矽硬度高，采用常規的晶圓劃片方案，切割速度慢，刀片消耗大。超聲振動(dòng)輔助劃片，極大地提高了生產(chǎn)效率。
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