一、脆性材料旋轉超聲加工

旋轉超聲加工（RUM）在脆性材料加工領(lǐng)域有着廣泛的應用，該加工方式由普通磨削和超聲振動(dòng)複合而成，是一種針對硬脆材料加工技術難題的特種加工工藝。旋轉超聲加工的刀具大多在刀頭位置電鍍一層金剛石或CBN等高硬度材料，且刀具在加工過(guò)程中會(huì)在高速旋轉的同時(shí)沿刀具軸線(xiàn)作微米級超聲頻振動(dòng)，可有效降低切削力、殘餘應力和表面損傷，提高加工精度和效率，延長(cháng)刀具壽命。由圖3所示的旋轉超聲鋸切藍寶石的效果圖可明顯看出，引入超聲振動(dòng)後，減少了塑性去除比例，不再出現大塊剝落。

旋轉超聲加工包含三種加工形式：鑽孔、端面銑削和側面銑削，其材料去除機理見(jiàn)圖4。其中，鑽孔與端面磨削加工中刀具端面的磨粒與工件材料在超聲振動(dòng)的作用下產(chǎn)生周期性的切削和分離，并附加有錘擊效果。這一工藝特性對硬脆材料的高硬度與低斷裂韌性有良好的針對作用，引起了國内外學(xué)者的廣泛關注，進(jìn)行大量研究，總結出旋轉超聲加工的諸多優勢。

在降低切削力方面，旋轉超聲加工時(shí)磨粒與工件有周期性的高頻分離，切削區域被打開(kāi)，切削液可進(jìn)入，改善了潤滑和冷卻情況，且加工過(guò)程中的高頻錘擊使加工表面粉末化、切削力降低。爲解析旋轉超聲加工切削力的降低機理，研究學(xué)者以理論建模及調整工藝參數等方式進(jìn)行了大量研究。華僑大學(xué)朱旭等利用旋轉超聲加工鋸切藍寶石之後發(fā)現，徑向切削力相比普通鋸切下降50%~80%，軸向力下降35%~50%。

當前國内外學(xué)者對旋轉超聲加工表面粗糙度的研究相對較少且存在較大的争議，即對旋轉超聲加工是否可降低表面粗糙度尚無(wú)定論。研究學(xué)者通過(guò)建立表面粗糙度預測模型或實(shí)驗驗證等方式得出的研究結果更多地支持旋轉超聲加工在側面磨削加工或V型槽加工中可顯著降低表面粗糙度的情況，而鑽孔與端面磨削加工增大表面粗糙度的情況更多，但可通過(guò)提高主軸轉速、降低切削深度和進(jìn)給量并匹配合适的超聲參數的方式降低表面粗糙度。

提高加工效率是旋轉超聲加工的一個(gè)重要優勢，主要體現爲材料去除率增加。特别是在恒力進(jìn)給條件下，旋轉超聲加工的材料去除率相比普通磨削顯著提高。目前旋轉超聲加工在硬脆性材料加工領(lǐng)域相比普通磨削有顯著優勢，但當前超聲振動(dòng)下的材料去除機理研究并不深入。深入研究去除機理可進(jìn)一步揭示旋轉超聲加工的表面粗糙度規律和亞表面損傷形成機理，對旋轉超聲加工工藝的推廣有重要意義。

二、超聲抛光

超聲振動(dòng)抛光的原理是對工件或變幅杆施加超聲振動(dòng)，使磨料懸浮液中的磨粒與工件產(chǎn)生相對運動(dòng)，以達到沖擊、抛磨的效果，可提高抛光速度和均勻性、降低表面粗糙度。印度理工學(xué)院Kala等使用磁場(chǎng)輔助超聲抛光，改善了黃銅表面的光潔度。Jeffrey等分别對變幅杆和抛光盤施加橫向超聲振動(dòng)，發(fā)現橫向超聲振動(dòng)以攪動(dòng)懸浮液的形式作用于矽片，提高抛光均勻性。許文虎等進(jìn)行了有無(wú)超聲抛光藍寶石的對比實(shí)驗，發(fā)現超聲振動(dòng)輔助抛光去除率是無(wú)超聲的兩倍且表面粗糙度降低，

超聲振動(dòng)輔助抛光在機械抛光、化學(xué)抛光、磁流變抛光、離子束抛光等多個(gè)抛光類(lèi)别均有應用，并取得了一定的改善效果。然而，當前超聲抛光過(guò)程中的材料去除機理研究還不夠深入，特别是超聲空化作用對已加工表面的表面完整性的影響機制尚未揭示，因此需要進(jìn)一步加強基本理論的研究。